扒一扒激光干涉儀造成測(cè)量誤差的原因
點(diǎn)擊次數(shù)：1953 更新時(shí)間：2021-12-22
激光干涉儀，利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，對(duì)數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線(xiàn)度、垂直度等）進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。
干涉儀集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間，但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值，偏離我們的預(yù)估，以至于在高精度檢測(cè)時(shí)，對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。下面，小編就激光干涉儀測(cè)量誤差的部分原因進(jìn)行簡(jiǎn)單的介紹，希望能幫助大家！
1、阿貝誤差
因測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱(chēng)之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差。因此，光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn)，引起的阿貝誤差越大。
2、環(huán)境因素
環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對(duì)濕度信息，基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率，以此對(duì)激光波長(zhǎng)進(jìn)行補(bǔ)償。1000mm示值因環(huán)境溫度、壓力、空氣濕度各自變化引起的示值變化量（單位：um）
3、余弦誤差
激光束路徑與被測(cè)軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會(huì)造成測(cè)得的距離和實(shí)際的運(yùn)動(dòng)距離之間有差異，此誤差被稱(chēng)為余弦誤差。當(dāng)激光干涉儀與運(yùn)動(dòng)軸未準(zhǔn)直時(shí)，余弦誤差會(huì)使得測(cè)量的距離比實(shí)際距離要短。隨著未準(zhǔn)直角度的增加，誤差也跟著顯著增加。
4、死程誤差
死程誤差是在線(xiàn)性測(cè)量過(guò)程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會(huì)發(fā)生在定標(biāo)后以及測(cè)量過(guò)程中的環(huán)境改變。
